Fungsi Utama
-
- Pengukuran Kekasaran Permukaan 3D Non-Kontak: Mengukur kekasaran garis (line roughness) dan area (surface roughness) pada material logam, semikonduktor, plastik, atau kaca tanpa merusak atau menggores permukaan sampel.
- Analisis Geometri dan Profil: Mengukur dimensi mikro seperti tinggi undakan (step height), lebar celah, sudut kemiringan, luas penampang, volume erosi, hingga analisis ketebalan lapisan film tipis.
- Analisis Kegagalan Material & Kontrol Kualitas: Mengidentifikasi retakan mikro (micro-cracks), korosi, cacat produksi pada komponen otomotif, kedirgantaraan, sirkuit elektronik, wafer, hingga komponen MEMS.
Spesifikasi Teknis Umum Olympus LEXT (Seri OLS5100)
| Parameter | Spesifikasi |
|---|---|
| Prinsip Pengukuran | Reflection-type confocal laser scanning 3D optical profilometer |
| Sistem Optik Ganda | Laser Confocal Optics (untuk bentuk 3D) & Color Imaging Optics (untuk gambar warna nyata) |
| Sumber Cahaya Laser | Violet Laser Diode dengan panjang gelombang pendek 405 nm |
| Sumber Cahaya Warna | Lampu White LED |
| Detektor / Sensor | Photomultiplier (2 channel untuk laser) & CMOS color camera untuk gambar warna |
| Perbesaran Total | 54x hingga 17.280x |
| Bidang Pandang (Field of View) | 16 µm hingga 5.120 µm |
| Resolusi Tampilan Sumbu Z (Tinggi) | 0,5 nm |
| Resolusi Lateral Sumbu X-Y | 0,12 µm (120 nm) |
| Kemampuan Sudut Kemiringan Maks | Mampu memindai dan mendeteksi lereng curam hingga sudut 87,5° |
| Kapasitas Poin Pengukuran | Hingga 4096 x 4096 piksel dalam sekali pemindaian tunggal |
| Mode Pengamatan Tambahan | Brightfield (BF), Darkfield (DF), dan Differential Interference Contrast (DIC) |
| Konfigurasi Meja Sediaan (Stage) | Motorized XY Stage dengan pilihan area gerak 100 x 100 mm hingga 300 x 300 mm |
Fitur Teknologi Unggulan
- 405 nm Violet Laser & High-NA Objectives: Penggunaan laser violet bergelombang pendek yang dikombinasikan dengan lensa objektif khusus buatan Olympus memungkinkannya menangkap pola goresan dan cacat material yang sangat halus, yang tidak dapat dideteksi oleh mikroskop optik biasa atau mikroskop laser merah.
- Smart Judge Algorithm: Algoritma cerdas yang mampu membedakan dengan akurat antara undakan asli pada permukaan sampel dan noise (gangguan sinyal), sehingga data kekasaran sub-mikron yang dihasilkan murni tanpa distorsi manipulasi smoothing.
- Smart Lens Advisor: Fitur perangkat lunak pintar yang secara otomatis menganalisis permukaan sampel dan merekomendasikan lensa objektif mana yang paling ideal digunakan untuk mendapatkan hasil pengukuran terbaik.
- Automatic Line/Area Stitching: Memungkinkan alat untuk menjahit ribuan gambar makro secara otomatis guna menghasilkan satu peta topografi 3D yang sangat luas dengan resolusi nanometer yang tetap terjaga.
